Формирование PVD покрытий: механизмы зарождения

1.

Формирование PVD покрытий:
Механизмы зарождения
Прямой захват
атома
Конденсир.
фаза
Десорбция
Поступающий
атом
Зародыш
крит. размера
Диффузия Зарождение
поверхностная
Миграция
Схематичная диаграмма, изображающая процессы зарождения
покрытий на поверхности напыления

2.

Формирование PVD покрытий:
Механизмы роста зародышей
А
Б
Островковый механизм
Слоистый рост
(Vollmer-Weber)
(Frank-van der Merve)
Г
В
Слоистоостровковый
(Strasnski-Krastanov)
Вертикальный рост

3.

Формирование PVD покрытий:
Механизмы роста покрытия

4. Формирование PVD покрытий

5. Зона 1

ZrO2-8 wt% Y2O3

6.

CrN на SiO2, зона T
Al на SiO2, зона III

7.

a
d
Tsub=150oC
Ubias=0
=0
Tsub=150oC
Ubias=0
=0
200 nm
b
e
Tsub=150oC
Ubias=0
=0.14
Tsub=150oC
Ubias=0
=0.14
200 nm
c
f
Tsub=150oC
Ubias=-250V
=0.14
Tsub=150oC
Ubias=-250V
=0.14
Ti-Ca-C-N-O
200 nm
200 nm
200 nm
200 nm
Ti-Zr-C-N-O
Зона II

8. Моделирование роста покрытий

9. Моделирование роста покрытий

10. Установка PVD

11. Установка PVD

12. Установка CVD

13. Установка CVD