2026.09.16_ZrY

1.

Место получения образца №1(10нм)

2.

Срез образца №1(10нм)
Dark Field
Ag, 100 нм
Pt, 10 нм
Ag, 20 нм
a-Si, 8.5 нм
ZrO2(Y), 7.5 нм

3.

Срез образца №1(10нм)
Dark Field
Pt, 10 нм
Ag, 20 нм
a-Si, 8.5 нм
ZrO2(Y), 7.5 нм

4.

Кристаллы в слое ZrO2(Y) образца №1(10нм)
ZrO2
a-Si, 8.5 нм
ZrO2(Y), 7.5 нм

5.

EDX анализы образца №1(10нм), места
область 1
область 2
область 3
область 4
область 5
область 6

6.

EDX анализы образца №1(10нм) в числах, усреднённые
At.%
C
O
Si
область 1
32
2
0
область 2
9
36
43
область 3
2
7
область 4
3
область 5
область 6
Fe
Cu
Y
Zr
Ag
Pt
32
33
1
0
11
0
1
65
0
20
0
1
0
2
35
45
0
12
0
5
0
0
5
48
2
0
18
4
24
0
0
2
32
2
0
33
3
20
0
7

7.

Место получения образца №1h(10нм с нагревом)

8.

Срез образца №1h(10нм с нагревом)
Dark Field
Ag, 100 нм
Pt, 10 нм
Ag, 18 нм
a-Si, 7.5 нм
ZrO2(Y), 7.5 нм

9.

Срез образца №1h(10нм с нагревом)
Dark Field
Pt, 10 нм
Ag, 18 нм
a-Si, 7.5 нм
ZrO2(Y), 7.5 нм

10.

Кристаллы в слое ZrO2(Y) образца №1h(10нм с нагревом)
a-Si, 7.5 нм
ZrO2
ZrO2(Y), 7.5 нм

11.

EDX анализы образца №1h(10нм с нагревом), места
область 1
область 2
область 3
область 4
область 5
область 6

12.

EDX анализы образца №1h(10нм с нагревом) в числах, усреднённые
At.%
C
O
Si
Fe
Cu
Y
область 1
16
2
1
0
38
область 2
12
24
47
0
14
0
область 3
2
9
77
0
11
область 4
3
29
43
0
область 5
5
37
1
область 6
5
29
1
Zr
Ag
Pt
39
0
0
3
0
0
1
0
0
13
2
10
0
0
0
23
5
28
0
0
0
32
4
25
0
4

13.

Место получения образца №2(5нм)

14.

Срез образца №2(5нм)
Dark Field
Ag, 118 нм
Pt, 10 нм
Ag, 20 нм
a-Si, 7.5 нм
ZrO2(Y), 4 нм

15.

Срез образца №2(5нм)
Dark Field
Pt, 10 нм
Ag, 20 нм
a-Si, 7.5 нм
ZrO2(Y), 4 нм

16.

Кристаллы в слое ZrO2(Y) образца №2(5нм)
ZrO2
a-Si, 7.5 нм
ZrO2(Y), 4 нм

17.

EDX анализы образца №2(5нм), места
область 1
область 2
область 3
область 4
область 5
область 6

18.

EDX анализы образца №2(5нм) в числах, усреднённые
At.%
C
O
Si
Fe
Cu
Y
Zr
Ag
Pt
область 1
26
2
0
0
36
0
1
32
область 2
4
16
59
0
20
0
0
1
1
область 3
2
7
73
0
17
0
1
0
0
область 4
3
36
38
0
16
1
6
0
0
область 5
5
37
1
0
28
4
23
0
1
область 6
3
11
1
0
58
2
12
0
13

19.

Место получения образца №3(3нм)

20.

Срез образца №3(3нм)
Dark Field
Ag, 120 нм
Pt, 9 нм
Ag, 22 нм
a-Si, 5.5 нм
ZrO2(Y), 3 нм

21.

Срез образца №3(3нм)
Dark Field
Pt, 9 нм
Ag, 22 нм
a-Si, 5.5 нм
ZrO2(Y), 3 нм

22.

Кристаллы в слое ZrO2(Y) образца №2(5нм)
a-Si, 5.5 нм
ZrO2
ZrO2(Y), 3 нм

23.

EDX анализы образца №2(5нм), места
область 1
область 2
область 3
область 4
область 5
область 6

24.

EDX анализы образца №2(5нм) в числах, усреднённые
At.%
C
O
Si
Fe
Cu
Y
область 1
36
3
1
0
21
область 2
7
15
49
0
28
0
область 3
3
6
56
0
31
область 4
2
23
49
0
область 5
5
32
5
область 6
3
12
6
Zr
Ag
Pt
39
0
0
0
1
0
0
2
1
22
0
2
0
1
0
32
3
21
0
2
0
58
2
12
0
7