Плазмохимическое травление

1.

Плазмохимическое травление
Выполнила: ст. гр. КТ-31 Александрова Т.О.
Проверил: д.т.н., профессор Тимошенков С.П.
Москва, 2023

2.

Цель
Рассмотреть процесс плазмохимического травления с физикохимической и технологической сторон.
o
2

3.

Введение
Плазмохимическое травление (ПХТ, plasma chemical etching) является
одним из самых распространенных методов «сухого» травления
имеющим определенные преимущества перед аналогами.
3

4.

Классификация процессов травления
Травление − это процесс удаления вещества с поверхности твердых тел.
Рис 1. Классификация процессов травления [2]
4

5.

Плазма. Условие электронейтральности
Плазма – состояние вещества (газа), характеризующееся высокой
степенью ионизации и равенством концентраций положительных и
отрицательных зарядов (квазинейтральностью). Высокая ионизация
обуславливает электронейтральность плазмы.
Условие электронейтральности плазмы: