Производство интегральных микросхем

1.

Производство интегральных микросхем
Лекция 10
Весна 2016
Интегральные микросхемы
(часть 2)
Производство интегральных
микросхем
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
1

2.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Производство интегральных микросхем
Основные этапы:
1. Изготовление монокристалла
2. Разрезка монокристалла на пластины и их
подготовка
3. Формирование слоев
4. Металлизация
5. Резка пластин
6. Установка в корпус
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
2

3.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Изготовление монокристалла методом
Чохральского
1-Тигель с расплавом
2. – печь
3 – затравка
4 – холодильник
5 – механизм
вытягивания
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
3

4.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Разрезка монокристалла на пластины
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
4

5.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Схема формирования слоев методом
фотолитографии
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
5

6.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Нанесение защитной пленки диэлектрика SiO2
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
6

7.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Нанесение фоторезистива
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
7

8.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Формирование рисунка
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
8

9.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Фотошаблон
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
9

10.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Установка EUV-литографии
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
10

11.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Установка EUV-литографии
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
11

12.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Травление
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
12

13.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Схема установки травления, промывки и сушки
1 – ротор
2 – днище камеры с
отверстием
3 – форсунка сушки
4 – форсунка травления и
отмывки
5 – платформа с
пластинами
6 – съемная крышка
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
13

14.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Формирование слоев
(диффузия)
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
14

15.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Рабочая камера диффузионной печи
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
15

16.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Метод ионной имплантации
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
16

17.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Метод ионной имплантации
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
17

18.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Ломка пластин на отдельные кристаллы
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
18

19.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Установка в корпус
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
19

20.

Производство интегральных микросхем
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Весна 2016
20

21.

Производство интегральных микросхем
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Весна 2016
21

22.

Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Технология
«напряженный кремний»
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
22

23.

24.

Производство интегральных микросхем
ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Весна 2016
24