Формирование областей исток-сток МОПТ. (Лекция 9)

1. Лекция 9 Особенности формирования областей исток-сток МОПТ

2. Структура областей исток-сток наноразмерного МОПТ

[1]

3. Эффект образования горячих носителей

[2]

4. Причины и следствия образования горячих носителей

• Lк
Nп
Xопз
E
УИ
ГН
Ин
Uп
ВЖ

5. Механизм образования ловушек для горячих носителей

[1]

6. Влияние горячих носителей на ВАХ МОПТ

до
после
Стресс
[1]

7. LDD структура стока

Спейсер
Затвор
Подзатворный окисел
[2]
Сток

8. Влияние LDD структуры на распределение электрического поля

[2]
Расстояние от поверхности, мкм

9. Влияние дозы имплантации примеси для LDD на время жизни и ток в подложку МОПТ

Ток в подложку, А/см2
Время жизни, годы
Влияние дозы имплантации примеси для LDD на время
жизни и ток в подложку МОПТ
Область
cуществования
LDD
LDD
формирется
ОПЗ
Доза
сужается
[2]

10. Маршрут формирования МОПТ с LDD структурой

[2]

11. Изменение глубины LDD структуры от технологического уровня

[3]

12. Зависимость тока насыщения МОПТ от длины канала и уровня легирования LDD структуры

[3]

13. Влияние перекрытия LDD структуры электродом затвора на ток насыщения МОПТ

LDD
[3]

14. Факторы, влияющие на величину сопротивления LDD стока МОПТ

[2]

15. Эффект обеднения LDD - структуры

Отрицательный
заряд
Обеднение
области п-типа
[2]

16. Конструктивные варианты LDD структуры

Поверхностный
LDD
Скрытый LDD
Градиентно-скрытый
LDD
[2]

17. Зависимость степени деградации крутизны МОПТ от времени испытания для различных LDD

Деградация крутизны
Зависимость степени деградации крутизны МОПТ от
времени испытания для различных LDD
Поверхностный
LDD
Скрытый LDD
Градиентноскрытый LDD
[2]
Время испытаний, час

18. Маршрут изготовления градиентно-профильной LDD структуры

Иония имплантация мышьяка ( малая доза )
Ионная имплантация фосфора
Формирование спейсеров
Ионная имплантация мышьяка ( большая
доза и энергия )
[2]

19. Маршрут формирования LDD КМОП ИС с двумя карманами

[2]

20. Влияние концентрации примеси и температуры на подвижность носителей

21. Гало-области МОПТ

МОПТ с гало-областью
Маршрут формирования МОПТ
с локальной гало-областью
[2]

22. Влияние режимов формирования гало-области на изменение порогового напряжения МОПТ

[1]

23. Влияние гало-области на напряжение смыкания ОПЗ исток-сток

[1]

24. Влияние режима формирования гало-области на подпороговый ток МОПТ

[1]

25. Зависимость тока выключения от тока насыщения для двух типов МОПТ

1 – с гало-областью\
2 – без гало-области
[1]