Выбор структуры и подложки для КМОП ИС. (Лекция 3)

1.

Выбор структуры и подложки для
КМОП ИС

2. КМОП - структура

3. Варианты КМОП структур

4. Выбор кармана КМОП - структуры

Тип кармана
Достоинства
Недгостатки
Карман р-типа
Малая площадь
1.Инверсный канал по краям
кармана
2. Ухудшение частотных свойств
п-канального МОП – транзистора
3. Уменьшение подвижности
носителей п-канального
транзистора
4.Трудность подгонки пороговых
напряжений
Карман п-типа
Два кармана

5. Влияние температуры и среды на перераспределение примеси при окислении кремния

N
Коэффициент
сегрегации
(N в кремнии/N в оксиде)
Доноры
N0
Акцепторы
(бор)
Оксид
кремний
1017 см-3
ДА
Нет
Инверсный канал
X

6. Инверсионный канал по краю кармана р-типа

Латеральная диффузия бора
1018 1017
Рабочая область
транзистора
1016
Инверсный слой
Р
Охранная область
[2]

7. Зависимость подвижности от электрического поля, легирования и температуры

8. Зависимость подвижности носителей от концентрации примеси

9. Пороговое напряжение МОП-транзистора

Выравнивание зон