Презентация SES процесса

1.

ОБУЧЕНИЕ ПРОЦЕССУ
ПОЛУЧЕНИЯ РИСУНКА СХЕМЫ
“STRIP-ETCH-STRIP”

2. Процесс SES

– Для травления наружного слоя существуют следующие этапы
1.
Удаление сухого плёночного фоторезиста
2.
Каскадная промывка
3.
Щелочной травитель
4.
Каскадная промывка
5.
Удаление металлорезиста
6.
Каскадная промывка
7.
Сушка
A Platform Specialty Products Company.

3. Процесс SES

- Удаление сухого плёночного фоторезиста
1.
Ultrastrip 218 P
Особенности
Высокая скорость удаления
Не содержит щелочи
Постоянная скорость удаления
Остается чиста медь
Образуются крупные частицы СПФ
Преимущества
Высокая скорость конвейера
Отсутствует травление олова и меди
Простота эксплуатации
Нет помех травлению
Легко отфильтровываются
A Platform Specialty Products Company.

4. Процесс SES

- Удаление сухого плёночного фоторезиста
1.
PC 4069
Вы можете увидеть те же преимущества
Особенности
Преимущества
Высокая скорость удаления
Не содержит щелочи
Постоянная скорость удаления
Остается чиста медь
Образуются крупные частицы СПФ
Высокая скорость конвейера
Отсутствует травление олова и меди
Простота эксплуатации
Нет помех травлению
Легко отфильтровываются
A Platform Specialty Products Company.

5. Процесс SES

– Удаление сухого плёночного фоторезиста – оборудование
– Модуль предварительного удаления (Pre strip)
Для набухания сухой пленки -высокая подача -низкое давление
– Модуль основного удаления
Необходима хорошая фильтрация
Регулируемое давление
Распылители с различными направлениями форсунок
Модуль последующего удаления (Post strip)
Высокое давление
A Platform Specialty Products Company.

6. Процесс SES

– Удаление сухого плёночного фоторезиста – оборудование
Модуль последующего удаления (Post strip)
Высокое давление
Впрыск свежего раствора
Каскад от post-strip к основному модулю
Каскад от основного модуля к pre-strip
Необходимы 3 или 4 каскадных промывки в зависимости от
скорости линии
A Platform Specialty Products Company.

7. Процесс SES

– Щелочное травление
1.
High Speed Accuguard
Особенности:
Высокая скорость травления
Минимальный подтрав
Однокомпонентная система
Высокое накапливание меди
Преимущества:
60 мкм / мин (49 ºC)
Никаких боковых подтравов
Простой анализ и дозирование
Содержание меди 155 г/л
Простая система автодозации, быстрый анализ.
• Насыщенный медью травитель (CUSOL 140-R) собирается компанией
MacDermidдля восстановления.
A Platform Specialty Products Company.

8. Процесс SES

– Щелочное травление
1.
Elofast 60
Особенности:
Преимущества:
Система Рециркуляции
Клиент может продавать медь
Минимальный подтрав
Никаких боковых подтравов
Аммонийсульфатная система
Никакого травления алюминия
Постоянная скорость травления 40мкм/мин
A Platform Specialty Products Company.

9. Процесс SES

– Щелочное травление
1.
Elofast 60
Elofast 60
Щелочное травление и переработка меди
Автоматическая дозация
Отсутствует переливание отработанных / неотработанных
растворов (Составное Травление)
Безопасная химия: Ускоритель
Фосфат аммония
Аммиачный газ
A Platform Specialty Products Company.

10. Процесс SES

– Щелочное травление
– 1. Elofast 60
Переработка меди у потребителя;
Регенератор
Меднение на нержавеющей стали
Отсутствие образования газа Cl (система SO4)
Легкое «получение" медной фольги
Минимальный запах
Высокий срок эксплуатации электродной пластины
A Platform Specialty Products Company.

11. Процесс SES

– Elofast 60- регенератор
A Platform Specialty Products Company.

12. Процесс SES

– Elofast 60- Легкое «получение" медной фольги
A Platform Specialty Products Company.

13. Процесс SES

– Щелочное травление
1. Elofast 60
Параметры травления:
Температура 52 ° C +/- 2.0
PH 8.5 +/- 0.2
Давление форсунок 2.5 - 3 бар + 0.5
Скорость травления 40 мкм / min +/- 2
Подтрав: ниже 10% - 20%
(зависит от оборудования)
A Platform Specialty Products Company.

14. Процесс SES

– Щелочное травление
1. Elofast 60
Автоматическое управление технологическим процессом
Дозирование аммиака (газа) с помощью контроля рН
Постоянное значение рН в течение всего процесса травления.
Контроль электролиза по плотности
Постоянное содержание меди в травильном растворе.
Дозирующий ускоритель, эквивалентный осаждению меди.
Постоянная скорость травления
A Platform Specialty Products Company.

15. Процесс SES

– Щелочное травление
1. Elofast 60
Elofast 60 ускоритель;
Отвечает за постоянную скорость травления.
Корректируемый металлический катализатор
Управление ускорителем происходит автоматически
A Platform Specialty Products Company.

16. Процесс SES

– Щелочное травление
1.
High Speed Accuguard- оборудование
2.
Elofast 60-оборудование
Модуль травления
Регулируемое давление - верхнее и нижнее 1+2
Регулируемое давление – на входе и выходе 1+2
Перемешивающие спрей форсунки1+2
Все насосы с фильтрацией 1+2
Контроль рН и плотности 1+2
A Platform Specialty Products Company.

17. Процесс SES

– Щелочное травление
1. High Speed Accuguard- оборудование
2. Elofast 60-оборудование
Модуль травления
Регулируемая аспирация на входе 1+2
Регулируемое аспирация в центре 1+2
Дозирование аммиачного газа 2
Дозирование Elofast 60 Accelerator 2
A Platform Specialty Products Company.

18. Процесс SES

– Щелочное травление
1.
High Speed Accuguard- оборудование
2.
Elofast 60-оборудование
Модуль травления
Металлические части из титана 1
Металлические детали из нержавеющей стали 2
A Platform Specialty Products Company.

19. Процесс SES

– Щелочное травление
1.
High Speed Accuguard- оборудование
Post-Etch модуль 1+2
Каждая распылительная трубка управляется программно 1+2
A Platform Specialty Products Company.

20. Процесс SES

– Щелочное травление
1.
High Speed Accuguard- оборудование
2.
Elofast 60- оборудование
Модуль пополнения
2 или 3 каскада ( в зависимости от скорости линии ) 1+2
Пополнение High Speed Accuguard Replenisher в последнем
каскаде 1
Входной раствор Elofast 30 г/л в последнем каскаде 2
Перелив первого каскада в травильный модуль 1+2
A Platform Specialty Products Company.

21. Процесс SES

– Щелочное травление
1.
High Speed Accuguard- оборудование
2.
Elofast 60- оборудование
Каскадная промывка
4 или 5 каскадов ( в зависимости от скорости линии ) 1+2
Дозирование серной кислотой в 3 каскаде ( контролируемый рН),
если линия также используется для травления внутреннего слоя.
1+2
Продув воздухом 1+2
Инспекционный модуль 1+2
A Platform Specialty Products Company.

22. Процесс SES

– Удаление металлорезиста
1.
Eliminator SNH D
Особенности
Преимущества
Однокомпонентная система
Минимальное травление меди
Простота в эксплуатации
(< 1,5 мкм)
Минимальное образование осадка Сокращение времени простоя
Не засоряются форсунки
Большое содержание металла
Низкие эксплуатационные расходы и
сокращение времени настройки
Высокая скорость удаления
Слегка экзотермический процесс
Безопасная эксплуатация и низкий износ
оборудования
Нет перекиси и фтора
Нет травления на стекловолокно и смолу
A Platform Specialty Products Company.

23. Процесс SES

– Удаление металлорезиста
1.
Eliminator SNH D
Стартовый раствор, необходимый для пригтовления( > 30 г/л олова )
Автодозация через датчик плотности
Одноступенчатый продукт
A Platform Specialty Products Company.

24. Процесс SES

– Удаление металлорезиста
1.
TL 155
Высокое содержание Sn и SnPb (макс.200 г/л)
Высокая скорость удаления 15 мкм/мин
Чистая медная поверхность с антиокислительными свойствами
Не содержит фтора/пероксида и тиомочевины
Отсутствие остатков и травления эпоксидных смол
Работа без осадка, что сокращает операции по очистке оборудования
Минимальное травление меди
Не экзотермичный
Автоматический контроль плотности раствора
A Platform Specialty Products Company.

25. Процесс SES

– Удаление металлорезиста
1.
TL 155
Готов к использованию - без стартера
Автодозация
Возможно для основного и пост использования
A Platform Specialty Products Company.

26. Процесс SES

– Удаление металлорезиста
1.
Eliminator SNH D- оборудование
Модуль удаления
Регулируемое давление - сверху и снизу
Форсунки с различными типами сопел ( высокое давление,
высокий расход )
Все насосы с фильтрацией
Система охлаждения и нагрева
Контроль плотности
A Platform Specialty Products Company.

27. Процесс SES

– Удаление металлорезиста
1.
Eliminator SNH D- оборудование
Модуль удаления
Дозирование свежего раствора в модуле удаления
A Platform Specialty Products Company.

28. Процесс SES

– Удаление металлорезиста
1.
TL-155- оборудование
Модуль удаления
Регулируемое давление - сверху и снизу
Форсунки с различными типами сопел ( высокое давление,
высокий расход )
Все насосы с фильтрацией
Система охлаждения и нагрева
Контроль плотности
A Platform Specialty Products Company.

29. Процесс SES

– Удаление металлорезиста
1.
Eliminator SNH D- оборудование
Модуль удаления
Если используются два модуля удаления они могут работать как
каскад.
Дозирование свежего раствора во втором модуле.
Контроль плотности в первом модуле
A Platform Specialty Products Company.

30. Процесс SES

– Каскадная промывка
4 или 5 ступенчатый каскад в зависимости от скорости линии
Сушка
Комбинированная система нагрева и подачи воздуха
A Platform Specialty Products Company.