734.17K

5. SDE

2.

Подключение
Подключение возможно несколькими способами. Вариант 1
(через панель Extensions):

3.

Подключение
Подключение возможно несколькими способами. Вариант 2
(через отдельную консоль):

4.

Подключение
Подключение возможно несколькими способами. Вариант 3
(как sprocess или sdevice,
но вызывать на редактирование
boundary file):

6.

Вид начального окна
Можно не пользоваться интерфейсом, а
писать код на языке Scheme

7.

Настройки
Первым делом настраиваем очерёдность отрисовки
полигонов, лучше всего сделать так, чтобы новый полигон
перекрывал старый:

8.

Настройки
Альтернативно можно через панель. Следим, чтобы кнопка не
менялась в ходе работы:

9.

Настройки
Рисовать лучше не на глаз, а по точным координатам:

10.

Оси
По-умолчанию оси могут быть развёрнуты как угодно:

11.

Оси
Для 2D принято X вниз, Y слева направо.
Выбираем через кнопку Y(-X):

12.

Построение структуры
Базовый элемент конструкции - прямоугольник.

13.

Построение структуры
Материал внутри региона будет такой, какой выбран на
панели материалов.

Построение структуры
Если с зажатой кнопкой мыши протянуть прямоугольник, то,
при нажатой кнопке точных координат, вылезет меню с
вводом точных координат (указываем координаты левого
верхнего и правого нижнего угла):

15.

Построение структуры
Для удобства измерений можно включить линейку:

16.

Построение структуры
Для удобства измерений можно включить линейку:

17.

Построение структуры
Если используется несколько однотипных слоёв, лучше их
переименовать, выделив регион стрелкой:

18.

19.

Сохранение
Не забываем периодически сохранять проект. На текущем
этапе при первом сохранении достаточно вбить имя проекта
без расширений. Может выкидывать ошибку при первом
сохранении, это нормально, если файлы с расширением .sat
и .scm появились в папке назначения.

20.

Построение структуры
Можно нарисовать структуру типа такой:

21.

Коррекция
При необходимости можно двигать узлы, регионы целиком,
удалять ненужные и добавлять новые узлы:

22.

Контакты
Для создания контактов
контактную группу:
необходимо
сначала
создать

23.

Контакты
Выбрав название и графические настройки необходимо
нажать set, после чего контакт добавиться в список контактов,
после этого выбрать контакт и нажать activate:

24.

Контакты
Выбрать контакт можно также на панели основного окна:

25.

Контакты
Для добавления контактов необходимо выделять грани (edge),
к которым контакты будут прикреплены:

26.

Контакты
При
успешном
оранжевым:
выделении
контакт
подсвечивается

27.

Контакты
Далее выбрать из меню contact пункт set contact:

28.

Контакты
Если всё получилось, контакт окрасится в цвет, указанный в
меню контактной группы:

29.

Контакты
Аналогично для второго контакта:

30.

Профили легирования
Основные виды профилей
управления основного окна:
расположены
на
панели

31.

Профили легирования
Для подложек и эпитаксиальных слоёв лучше использовать
постоянный профиль:

32.

Профили легирования
Имя размещения профиля,
задаётся самостоятельно:

33.

Профили легирования
Профиль применяется ко всему
региону, название региона
соответствует заданному ранее.

34.

Профили легирования
Имя профиля, задаётся
самостоятельно.

35.

Профили легирования
Тип примеси.

36.

Профили легирования
Концентрация примеси.

37.

Профили легирования
Замещение профиля при
наложении на уже имеющийся
профиль.

38.

Профили легирования
Аналогично для эпитаксиальных слоёв.

39.

Профили легирования
Для аналитических профилей
координаты источника примеси.
нужно
сначала
задать

40.

Профили легирования
Альтернативно можно сразу
определять eval window в диалоге
аналитической примеси.

41.

Профили легирования
Тип распределения.

42.

Профили легирования
Максимальная концентрация
источника.

43.

Профили легирования
Центр источника.

44.

Профили легирования
Концентрация, которая была
в полупроводнике до имплантации.

45.

Профили легирования
Глубина, до которой дойдёт
примесь.

46.

Профили легирования
Параметры боковой диффузии.

47.

Профили легирования
Текущий набор всех элементов
структуры можно посмотреть в
специализированном меню.

48.

Сетка
Финальный этап — построение сетки. Также, как и с
аналитическими профилями, можно сначала указать
координаты для определения сетки в прямоугольной области
(через define ref/eval window — rectangle).
Такой вариант имеет смысл, если нужно уточнить сетку в
части прибора, не являющейся самостоятельным регионом
(например p-n-переход, или канал полевого транзистора)

49.

Сетка
Вызов диалога сетки:

50.

Сетка
Управление сеткой в
заранее заданных областях

51.

Сетка
Управление сеткой для
конкретного материала

52.

Сетка
Управление сеткой для
конкретного региона

53.

Сетка
Управление предельными
размерами сетки

54.

Сетка
Обязательные установки
для областей с
аналитическими профилями!

55.

Сетка
Необходимо установить критерий
изменения размера сетки.
Для областей с аналитическим
профилем это концентрация
примеси.

56.

Сетка
Когда все области настроены, необходимо запустить процесс
построения сетки:

57.

Сетка
Когда все области настроены, необходимо запустить процесс
построения сетки:

58.

Сетка
Если поставить галочку, то после
запустится svisual и покажет результат:
построения
сетки

59.

Стыковка с sdevice
Для успешной стыковки с sdevice необходимо переименовать
файлы, заканчивающиеся на _bnd.tdr и _msh.tdr на n1_bnd.tdr
и n1_msh.tdr, если sdevice расположен вторым в сетке swb.
Либо в командном файле sdevice передать переменной Grid
полный путь до файла, заканчивающегося на _msh.tdr