Электроэпитаксия. Молекулярно - лучевая эпитаксия

1.

Электроэпитаксия.
Молекулярно-лучевая
эпитаксия

2.

Что такое эпитаксия?
Эпитаксия – это процесс
наращивания на подложку
монокристаллического слоя
(эпитаксиальной пленки),
который повторяет структуру
подложки и её
кристаллографическую
ориентацию. Эпитаксиальный
слой можно наращивать из
веществ любой консистенции,
для каждой применяется свой
метод эпитаксии. Также
различают виды эпитаксии:
автоэпитаксия и гетероэпитаксия

3.

Электроэпитаксия

4.

Молекулярно-лучевая эпитаксия

5.

Преимущества МЛЭ
1. Низкие скорости роста позволяют состав и концентрацию легирующих примесей
в пределах одного монослоя
2. Довольно низкие температуры роста позволяют минимизировать взаимную
диффузию примесей и компонентов соединений между слоями
3. Высокая однородность толщины слоя по площади образца
4. Результатом процесса является совершенная морфология поверхности
выращенных слоев, которая дает возможность получения гетероструктуры с
резкими границами
5. Совместимость с другими процессами полупроводниковой технологии