Жидкостная эпитаксия

1.

Жидкостная эпитаксия
Работу выполнил:
ст. группы 1183
Киркота Д.И.

2.

Что такое эпитаксия?
Промышленная деятельность требует
специального оборудования и
технологий, позволяющих выполнять
различные процессы, такие как
эпитаксия. Эпитаксия – наращение много
кристаллических слоёв на кристалл
(также именуемый, как подложка), при
этом новые нарощенные слои полностью
повторяют контур исходного объекта.
Различают следующие виды эпитаксии:
автоэпитаксия, гетероэпитаксия,
хемоэпитаксия. Наращенный
эпитаксиальный слой будет полностью
повторять контур кристалла. Его можно
наращивать из веществ любой
консистенции: жидких, твёрдых газовых.
Однако тогда специалисты используют
различные методы эпитаксии.

3.

Жидкофазная эпитаксия

4.

Электроэпитаксия

5.

Итог
Преимущеста
Возможность применения данного процесса практически во всех отраслях
Высокие показатели производительности
Улучшение качества продукции, которая проходит процесс эпитаксии
Отсутствие каких-то сложных элементов в системе, из-за чего проведение
процесса становится намного проще
Высокое качество обработки
Недостатки
Недостатком жидкофазной эпитаксии является сложность процесса
контролирования толщины, однородности и качества покрытий. Сам
процесс является малопроизводительным.