Чистота на производстве

1.

Чистота на
производстве

2.

• Чистные помещения
1. Основные понятия.
Чистым помещением или чистой комнатой называется помещение, в котором счетная
концентрация взвешенных в воздухе (аэрозольных) частиц и, при необходимости, число
микроорганизмов в воздухе поддерживаются в определенных пределах.
Под частицей понимают твердый, жидкий или многофазный объект или микроорганизм с
размерами от 0,005 до 100 мкм. При классификации чистых помещений рассматривают
частицы с нижними пороговыми размерами от 0,1 до 5,0 мкм. Ключевым фактором является
то, что чистые помещения характеризуются именно счётной концентрацией частиц, то есть
числом частиц в единице объёма воздуха, размеры которых равны или превышают
определённую величину (0,1; 0,3; 0,5 мкм и т. д.). Этим они отличаются от обычных
помещений, в которых чистота воздуха оценивается по массовой концентрации загрязнения в
воздухе. Отсюда вытекают особенности поддержания и определения показателей чистоты,
специфические требования к контрольным приборам, счетчикам частиц в воздухе и пр.

3.

Рис1. Иссточники микрозагрязнений
Рис2. Природа микрозагрязнений
В соответствии с международной практикой уровень
очистки от пыли в основном определяется количеством
частиц на кубический метр воздуха, диаметр которых
превышает стандарт разделения.Это означает, что он не
на 100% свободен от пыли, но контролируется на очень
маленьком количестве единиц.Конечно, этот стандарт
соответствует стандарту пыли, частицы по сравнению с
нашей общей пылью уже незначительны, но для
оптической конструкции, даже небольшая пыль будет
иметь очень большой негативный эффект, поэтому в
производстве оптической конструкции продукта,
отсутствие пыли является неизбежным требованием.

4.

Различают три состояния чистого помещения:
a.Построенное, когда чистое помещение построено и действует, но технологическое
оборудование не установлено или установлено, но не работает, а материалы и персонал
отсутствуют;
b.Оснащенное, когда чистое помещение построено и действует, технологическое оборудование
установлено и отлажено (действует в соответствии с соглашением между заказчиком и
исполнителем), а персонал отсутствует;
c.Эксплуатируемое, когда чистое помещение функционирует в соответствии с заданными
требованиями и с установленной мисленностью персонала, работающего в соотвстствии с
документацией.

5.

Классификация чистых помещений в таблице 1.показана классификация чистых помешений
по межгосударственному стандарту ГОСТ ИСО 14644-1 "Чистые помещения и связанные с
ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха"
Таблица 1 .Классификация чистых помещений по ГОСТ ИСО 14644-1.

6.

Таблица 2.Классификация чистых помещений по различным стандартам.

7.

2.Параметры чистого помещения:
Контроль параметров воздушной среды в чистых помещениях
1)Проектирование
2)Температура и влажность
3)Освещение
4)Шум и вибрация
5) Экономия энергии

8.

3.Класс чистого помещения
Чистые помеещения можно условно разбить на две большие группы:
• С однонаправленным потоком воздуха
• С неоднонаправленным потоком воздуха
В чистой комнате с односторонним потоком поток чистого воздуха не один или несколько, а заполняет
все поперечное сечение комнаты. Следовательно, эта чистая комната не зависит от разбавления потока
чистого и грязного воздуха в комнате, а от вытеснения потока чистого воздуха для выпуска грязного
воздуха внутри помещения по всей секции наружу для достижения цели очистки воздуха.
Рис 3.Вертикальный
однонаправленный поток
Рис 4.Горизонтальный однонаправленный
поток

9.

Принцип работы турбулентного чистого помещения заключается в следующем: когда поток
чистого воздуха направляется в помещение из порта подачи воздуха, он быстро диффундирует
и смешивается, и в то же время из отверстия возврата воздуха выходит почти такое же
количество воздушного потока. Воздух в комнате разбавляет исходный воздух в помещении с
высокой концентрацией пыли и достиг равновесия. Следовательно, чем быстрее и
равномернее воздушный поток, тем лучше будет эффект разбавления. Так что принцип
турбулентной чистой комнаты - это разбавление.
Рис 5.Неоднонаправленный поток воздуха

10.

4.Kратность воздухообмена
Воздухообмен - это один из количественных параметров, характеризующих работу системы
вентиляции воздуха в закрытых помещениях.Oтношение объёма воздуха, подаваемого в
помещение или удаляемого из него в течение часа, к внутреннему объёму помещения.
Определение кратности воздухообмена.
Кратность воздухообмена - это величина, значение которой показывает, сколько раз в течение
шестидесяти минут воздух в помещении полностью заменяется на новый. Нормы расчета
кратности воздухообмена в системах вентиляции напрямую зависят от предназначения
каждого конкретного помещения.
Особенно важно корректно рассчитать кратность воздухообмена в тех помещениях, где по тем
или иным причинам в атмосферу выделяются токсические вещества, такие как продукты
горения газа в газовых плитах. Если воздухообмен на кухне не будет организован должным
образом, то находящимся там людям грозит оксиуглеродная интоксикация крови.

11.

5.Области применения чистых помещений
Чистое помещение широко используется в промышленности,
особенно чувствительной к загрязнению окружающей среды,
например, производство полупроводников, биохимические
технологии, биотехнологии, прецизионное оборудование,
фармацевтические препараты, больницы и другие отрасли
пр ом ыш ле н но ст и, в кото р ых полу пр о вод ни ко ва я
промышленность имеет особенно строгие требования к
температуре и влажности в помещении, чистоте, поэтому ее
необходимо контролировать в определенном диапазоне
требований, чтобы не влиять на процесс.
В таблице показаны основные области применения чистых
помещений даны по ГОСТ ИСО14644-1.

12.

Наиболее строгие требования к чистоте воздуха в производственных помещениях прелъявляет
электронная промышленность, особенно в связи с интенсивным развитием субмикронных
технологий. Она является стимулом движения вперед в области ультравысоких требований к
чистоте.
Определяющим фактором в развитии требований к чистым помещениям является размер
топологического элемента микросхемы. Чем далыше идет прогресс, тем меньше становится
эта величина.
Если размер частицы, осевшей на микросхему, превышает 0,1 - 0,2 доли минимального
топологического размера, то это может привести к браку. Частицы металлов, ионы и бактерии
являются причиной брака. Степень чистоты воздуха прямо связана с процентом выхода
годных в производстве микросхем.