Методы тестирования оптических МЭМС

1. Методы тестирования оптических МЭМС

2. Что такое оптические МЭМС?

Оптические МЭМС (микроэлектромеханические системы) – это
миниатюрные устройства, интегрирующие оптические и
механические компоненты
1 Функции: Управление светом, переключение оптических
сигналов, сканирование, модуляция и многое другое
2 Примеры: Микрозеркала, оптические переключатели,
волноводы
3 Применение: Оптические сети, дисплеи, сенсоры,
медицинская оптика
2

3. Почему важно тестировать оптические МЭМС?

Контроль качества: Обнаружение дефектов, отклонений в
размерах и форме.
Оптимизация параметров: Настройка и калибровка рабочих
характеристик (точность позиционирования, оптические
потери, скорость переключения).
Обеспечение надежности: Проверка стабильности работы в
различных условиях (температура, вибрация).
Соответствие спецификациям: Убедиться, что устройство
соответствует требуемым параметрам для конкретного
применения.
3

4. Голография: Объемное изображение для точного анализа

Принцип: Запись интерференционной картины между опорным
и объектным пучком света, отраженным от МЭМС-устройства.
Восстановление голограммы позволяет получить трехмерное
изображение поверхности.
Области применения: Обнаружение дефектов, измерение
микрогеометрии, анализ динамического поведения.
4

5. Интерферометрия для Тестирования МЭМС

Принцип: Наложение двух или более когерентных световых
пучков для создания интерференционной картины. Анализ этой
картины позволяет определить разницу хода лучей, что связано
с различиями в высоте поверхности или смещениями.
Области применения: Измерение шероховатости,
плоскостности, деформаций, динамических характеристик.
5

6. Сравнение Голографии и Интерферометрии

Голография:
Преимущества: Визуализация трехмерной структуры, меньше чувствительность к вибрациям по сравнению с
некоторыми типами интерферометрии.
Недостатки: Сложность обработки данных, ограниченная точность по сравнению с интерферометрией.
Интерферометрия:
Преимущества: Высочайшая точность, количественные измерения.
Недостатки: Чувствительность к вибрациям, сложная интерпретация данных для сложных поверхностей.
6

7. Вопросы для аудитории

1 Какой метод тестирования оптических МЭМС обеспечивает наивысшую точность измерения топографии поверхности?
а) Голография б) Интерферометрия в) Микроскопия г) Спектроскопия
2 Какое преимущество голографии делает ее полезной для анализа МЭМС в условиях вибраций?
а) Высокая точность б) Трехмерная визуализация в) Нечувствительность к вибрациям г) Низкая стоимость
3 В каком из перечисленных приложений оптические МЭМС используются наиболее часто?
а) Производство продуктов питания б) Оптические сети и телекоммуникации в) Производство одежды г) Строительство
зданий
7

8. Спасибо за внимание!