Очистка. Пассивация

1.

2.

• Очистка
• Пассивация
• Фотолитография
• Ионная имплантация
• Травление
• Осаждение
• Эпитаксия
• Термическая обработка
• Планаризация

3.

Очистка
• Жидкие растворители (ацетон, трихлорэтилен, сверхчистая вода)
• Piranha solution
• RCA clean

4.

Пассивация

5.

Фотолитография

6.

Фотолитография. Экспонирование

7.

Фотолитография. OPC

8.

Фотолитография. Фотошаблон

9.

Фотолитография. Фотошаблон

10.

Ионная имплантация

11.

Травление

12.

Травление

13.

Осаждение / Эпитаксия

14.

Термическая обработка

15.

Термическая обработка

16.

Планаризация

17.

Планаризация

18.

Планаризация

19.

Планаризация

20.

Планаризация