Лекция 11
Темы лекции
Зачем нужно контролировать форму поверхности?
Виды ошибок
Пробное стекло
Непосредственное измерение местных ошибок плоских деталей
Теневой метод Фуко (нож)
Метод Гартмана
Интерферометр Физо
Неравноплечий лазерный интерферометр
Микроинтерферометр
Интерферометр с рассеивающей пластиной
2.55M
Category: physicsphysics

Контроль формы оптических поверхностей пробным стеклом, на интерферометре Физо и на неравноплечем лазерном интерферометре

1. Лекция 11

Оптические измерения

2. Темы лекции

Контроль формы оптических
поверхностей пробным
стеклом, на интерферометре
Физо и на неравноплечем
лазерном интерферометре.

3. Зачем нужно контролировать форму поверхности?

Для минимизации искажений изображения
Точность формы <=> точность волнового
фронта

4. Виды ошибок

• Общая ошибка – отклонение диаметра всей
поверхности от заданного
• Местная ошибка – отклонение части
поверхности
• Измеряется в количестве
интерференционных колец (λ/4)

5. Пробное стекло

1 полоса (кольцо) – отклонение в λ/2 (0,55 мкм / 2 = 0,28 мкм)

6.

7. Непосредственное измерение местных ошибок плоских деталей

• Профилометр
• Чувствительный датчик с головкой,
касающейся поверхности детали
• Применяется для оценки шероховатости, а
также оценки искривления плоской
поверхности
• Широко применяется для оценки
поверхности кремниевых пластин в
микроэлектронике

8.

9.

10.

11. Теневой метод Фуко (нож)

12.

13. Метод Гартмана

14. Интерферометр Физо

15.

16. Неравноплечий лазерный интерферометр

17.

18. Микроинтерферометр

19. Интерферометр с рассеивающей пластиной

English     Русский Rules