Контроль формы оптических поверхностей пробным стеклом, на интерферометре Физо и на неравноплечем лазерном интерферометре

1. Лекция 11

Оптические измерения

2. Темы лекции

Контроль формы оптических
поверхностей пробным
стеклом, на интерферометре
Физо и на неравноплечем
лазерном интерферометре.

3. Зачем нужно контролировать форму поверхности?

Для минимизации искажений изображения
Точность формы <=> точность волнового
фронта

4. Виды ошибок

• Общая ошибка – отклонение диаметра всей
поверхности от заданного
• Местная ошибка – отклонение части
поверхности
• Измеряется в количестве
интерференционных колец (λ/4)

5. Пробное стекло

1 полоса (кольцо) – отклонение в λ/2 (0,55 мкм / 2 = 0,28 мкм)

6.

7. Непосредственное измерение местных ошибок плоских деталей

• Профилометр
• Чувствительный датчик с головкой,
касающейся поверхности детали
• Применяется для оценки шероховатости, а
также оценки искривления плоской
поверхности
• Широко применяется для оценки
поверхности кремниевых пластин в
микроэлектронике

8.

9.

10.

11. Теневой метод Фуко (нож)

12.

13. Метод Гартмана

14. Интерферометр Физо

15.

16. Неравноплечий лазерный интерферометр

17.

18. Микроинтерферометр

19. Интерферометр с рассеивающей пластиной