Как создаются процессоры

1.

Как создаются процессоры

2.

Рассмотрим понятия:
• Экстремальная ультрафиолетовая
литография.
• Фотолитография.

3.

Фотолитография
• Похоже на то, как печатаются обычные
фотографии с пленочного негатива на
фотобумагу

4.

Литографией называется процесс формирования на
поверхности подложки с помощью чувствительного
материала защитного рельефного покрытия с
изображением элементов топологии и последующего
переноса изображения на подложку.

5.

В зависимости от длины волны применяемого излучения
различают:
оптическую (фотолитографию);
-9
рентгеновскую (0,1–10 нм);
1 нм = 10 м
электронную (0,1 нм);
ионную (0,1–0,5 нм).
1 нм во столько раз меньше 1 м, во
сколько футбольный мяч меньше
нашей планеты;
в среднем на 1 нм вырастает борода
у взрослого мужчины за время,
которое проходит, пока он берет
бритву и подносит ее к своему лицу;
самая маленькая бактерия имеет
размер 200 нм;
1 волос = 70 тысяч нанометров

6.

Фотолитографический процесс
На поверхности подложки формируют тонкую пленку
фоторезиста, экспонируют эту пленку, т. е. облучают ее
актиничным светом (ультрафиолетовым излучением)
через фотошаблон с изображением топологии, затем
проявляют.
Это
основа
всех
техпроцессов
фотолитографии. Они могут сильно различаться между
собой и иметь большое количество операций, которых нет
в других техпроцессах.

7.

8.

как и на фотопленке или фотобумаге — специальные слои
материалов реагируют на свет.

9.

10.

EUV

11.

Здесь - длина волны, а CD — это critical dimension, то есть
минимальный размер получаемой структуры.

12.

13.

14.

15.

ASML

16.

17.

Перспективы - High-NA EUV